Bojiong (Shanghai) Precision Machinery Technology Co., Ltd.
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초고속 파면 분석기
  • 초고속 파면 분석기초고속 파면 분석기

초고속 파면 분석기

중국 초고속 파면 분석기의 선구적인 제조업체인 BOJIONG은 광학 검출 기술의 혁신과 개발을 주도하는 데 전념하고 있습니다. 수년간의 전문 지식과 기술력을 활용하여 당사는 광학 제조, 항공우주, 생물의학 연구 및 에너지 연구에 맞춰진 정밀한 파면 간섭 검출 솔루션을 제공합니다. 당사의 포괄적인 제품 및 서비스 제품군은 고객에게 정확한 광학 성능 측정 및 분석을 제공하며, 기술 발전에 대한 끊임없는 추구는 제품 품질을 높이고 생산 프로세스를 간소화하며 시장 경쟁력을 강화하는 데 도움이 됩니다. 최근 생산 능력 확장, 기술 R&D 노력 강화, 강력한 기업 운영 프레임워크 구축은 당사 제품을 지속적으로 최적화하고 업그레이드하려는 당사의 약속을 강조합니다.


펨토초 레이저 및 유동장 분석과 같은 응용 분야를 위해 BOJIONG은 후면 초점면에서 간섭을 수행하는 초고속 파면 분석기를 특별히 개발했습니다. 광원의 일관성에 대한 요구 사항이 낮으며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 일반적인 이미징 시스템을 사용하여 간섭계 측정을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 매우 높은 진동 저항, 매우 높은 안정성, 초고속 이미징 기능, 진동 격리 없이 나노 수준의 정밀 측정을 달성할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.


품목 사양:

 

상품명

초고속 파면 분석기

파장 범위

400nm~1100nm

대상 크기

10.24mm×10.24mm

공간 해상도

24.4μm

샘플링 해상도

420×420(176400픽셀)

위상 분해능

<2nmRMS

절대적인 정확성

10nmRMS

다이내믹 레인지

132μm(210λ)

샘플링 속도

107fps

실시간 처리 속도

10Hz(전체 해상도)

인터페이스 유형

지연된 일괄 처리 지원

치수

무게

56.5mm×43mm×41.5mm

파장 범위

약 120g


BOJIONG 초고속 파면 분석기의 특징

 

 

 

◆샘플링 프레임 속도 최대 107fps

◆광대역 400nm~1100nm 대역

◆420×420(176400) 위상점의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원


BOJIONG 초고속 파면 분석기 적용

 

이 BOJIONG 초고속 파면 분석기는 웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반 및 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학 광학, 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정에 사용됩니다.

 

 레이저 빔 파면 검출

 광학적인 평면 표면 형상 측정

 

 

웨이퍼 표면 거칠기 측정 예

 

재구성된 파면 그래프 측정 예

 

가스 플라즈마 밀도 측정 광로

 

 

BOJIONG 초고속 파면 분석기 세부정보

 

BOJIONG 초고속 파면 분석기는 절강대학교와 싱가포르 난양 기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡전단 간섭을 달성하고 우수한 검출 감도와 항진성을 제공합니다. -진동 성능이 뛰어나며 진동 격리 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.

 

FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수

 

제품

FIS4-UV

FIS4-HR

FIS4 시계

FIS4-HS

FIS4-셀

FIS4-NIR

파장 범위

200~450nm

400~1100nm

400~1100nm

400~1100nm

400~1100nm

900~1200nm

대상 크기 mm²

13.3×13.3

7.07×7.07

13.3×13.3

10.24×10.24

7.07×7.07

13.3×13.3

공간 해상도

26μm

23.6μm

26μm

24.4μm

23.6μm

26μm

이미지 픽셀

-

2048×2048

-

-

2048×2048

-

위상 출력 분해능

512×512

(262144픽셀)

300×300(90000픽셀)

512×512(262144픽셀)

420×420(176400픽셀)

300×300(90000픽셀)

512×512(262144픽셀)

위상 분해능

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

<2nmRMS

절대적인 정확성

10nmRMS

10nmRMS

15nmRMS

10nmRMS

10nmRMS

15nmRMS

다이내믹 레인지

90μm

(256분)

110μm

(150분)

162μm

(256분)

132μm

(210분)

110μm

(150분)

270μm

(256분)

샘플링 속도

32fps

24fps

45fps

107fps

24fps

45fps

실시간 처리 속도

10Hz

(전체 해상도)

10Hz

(전체 해상도)

10Hz

(전체 해상도)

10Hz

(전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원

10Hz

(전체 해상도)

10Hz

(전체 해상도)

인터페이스 유형

USB3.0

USB3.0

USB3.0

외부 인터페이스

-

-

-

-

C 포트

-

크기 mm²

70x46.5x68.5

56.5x43x41.5

70x46.5x68.5

56.5x43x41.5

56.5x43x41.5

70x46.5x68.5

무게

약240g

약120g

약240g

약120g

약120g

약240g

 



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