펨토초 레이저 및 유동장 분석과 같은 응용 분야를 위해 BOJIONG은 후면 초점면에서 간섭을 수행하는 초고속 파면 분석기를 특별히 개발했습니다. 광원의 일관성에 대한 요구 사항이 낮으며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 일반적인 이미징 시스템을 사용하여 간섭계 측정을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 매우 높은 진동 저항, 매우 높은 안정성, 초고속 이미징 기능, 진동 격리 없이 나노 수준의 정밀 측정을 달성할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.
상품명 |
초고속 파면 분석기 |
파장 범위 |
400nm~1100nm |
대상 크기 |
10.24mm×10.24mm |
공간 해상도 |
24.4μm |
샘플링 해상도 |
420×420(176400픽셀) |
위상 분해능 |
<2nmRMS |
절대적인 정확성 |
10nmRMS |
다이내믹 레인지 |
132μm(210λ) |
샘플링 속도 |
107fps |
실시간 처리 속도 |
10Hz(전체 해상도) |
인터페이스 유형 |
지연된 일괄 처리 지원 |
치수 |
촙 |
무게 |
56.5mm×43mm×41.5mm |
파장 범위 |
약 120g |
◆샘플링 프레임 속도 최대 107fps
◆광대역 400nm~1100nm 대역
◆420×420(176400) 위상점의 초고해상도
◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음
◆2nm RMS 고위상 분해능
◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요
◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축
◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원
이 BOJIONG 초고속 파면 분석기는 웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반 및 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학 광학, 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정에 사용됩니다.
레이저 빔 파면 검출 |
광학적인 평면 표면 형상 측정 |
웨이퍼 표면 거칠기 측정 예 |
재구성된 파면 그래프 측정 예 |
가스 플라즈마 밀도 측정 광로 |
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BOJIONG 초고속 파면 분석기는 절강대학교와 싱가포르 난양 기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡전단 간섭을 달성하고 우수한 검출 감도와 항진성을 제공합니다. -진동 성능이 뛰어나며 진동 격리 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.
FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수 |
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제품 |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 시계 |
FIS4-HS |
FIS4-셀 |
FIS4-NIR |
파장 범위 |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200nm |
대상 크기 mm² |
13.3×13.3 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
10.24×10.24 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
공간 해상도 |
26μm |
23.6μm |
26μm |
24.4μm |
23.6μm |
26μm |
이미지 픽셀 |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
위상 출력 분해능 |
512×512 (262144픽셀) |
300×300(90000픽셀) |
512×512(262144픽셀) |
420×420(176400픽셀) |
300×300(90000픽셀) |
512×512(262144픽셀) |
위상 분해능 |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
절대적인 정확성 |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
다이내믹 레인지 |
90μm (256분) |
110μm (150분) |
162μm (256분) |
132μm (210분) |
110μm (150분) |
270μm (256분) |
샘플링 속도 |
32fps |
24fps |
45fps |
107fps |
24fps |
45fps |
실시간 처리 속도 |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원 |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
인터페이스 유형 |
USB3.0 |
촙 |
USB3.0 |
촙 |
촙 |
USB3.0 |
외부 인터페이스 |
- |
- |
- |
- |
C 포트 |
- |
크기 mm² |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
무게 |
약240g |
약120g |
약240g |
약120g |
약120g |
약240g |
주소
중국 상하이 양푸구 잉커우로 578호