FIS4 4파 간섭계 센서저장대학교(Zhejiang University)와 싱가포르 난양기술대학교(Nanyang Technological University) 교수팀이 개발했습니다. 국내 특허 기술을 보유하고 있으며 회절과 간섭을 결합하고 공통 경로 4파 측면 전단 간섭을 실현하며 뛰어난 감지 감도와 진동 저항을 가지며 진동 격리 없이 실시간 고속 동적 간섭계 측정을 달성할 수 있습니다. 실시간 측정 디스플레이 프레임 속도는 10프레임 이상에 도달합니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 검출, 고속 흐름장 분포 실시간 측정, 광학 시스템 이미지 품질 평가, 미세 윤곽 측정 및 생물학적 세포 정량 위상 이미징 등에 사용할 수 있습니다.
FIS4 간섭 센서 단일빔 간섭 광학 경로
4파장 간섭 센서의 작동 원리는 검출되는 파면이 랜덤 코딩된 하이브리드 격자에 의해 회절되고, 4개의 회절광이 두 개의 직교 방향으로 생성된다는 것입니다. 이들 4개의 회절광은 이미징 표면에 간섭하고 4개의 파면 측면 전단 간섭 무늬를 얻을 수 있습니다.
4파장 간섭 센서의 장점: 단일 광로 간섭은 진동 저항이 매우 강하고 참조광이 필요하지 않으며 레이아웃이 간단하고 특별한 간섭 장치가 필요하지 않으며 빠르고 쉬운 조정이 가능하며 실시간 이미징이 가능하며 위상 변이가 없습니다. 공정이 필요하며 특히 공장 환경의 고정밀 감지에 적합합니다.
