레이저 평면 간섭계

초당 최대 15프레임의 실시간 동적 측정 속도를 갖춘 레이저 평면 간섭계(LPI-100)는 100mm 조리개 내에서 평면 광학 요소의 표면 형태를 실시간으로 감지할 수 있습니다. 측정된 요소의 표면 모양 정보를 전달하는 빔은 특별히 인코딩된 격자를 통해 회절되며, 이는 파면을 측면으로 4개 부분으로 전단하여 4개의 파면을 가진 공통 경로 전단 2차원 간섭 패턴을 형성합니다. 2차원 간섭을 복조함으로써 소자의 표면 형상 정보를 얻을 수 있습니다.

품목 사양:

BOJIONG 레이저 평면 간섭계의 특징

◆실시간 동적 측정 최대 15프레임

◆2nm RMS 높은 위상 분해능

◆262144 위상점의 초고해상도

◆실시간 동적 감지를 실현할 수 있으며 초당 15프레임 동적 감지를 달성할 수 있습니다.

◆독립적인 지적 재산권, 비용 효율적, 간단한 조정, 컴팩트한 구조

◆공통 채널 자기 간섭의 원리를 기반으로 하는 장비는 참조 거울이 필요하지 않으며 강력한 저항 간섭 기능을 갖추고 있어 일반 공장 환경에서도 평평한 표면을 정확하게 감지할 수 있습니다.

BOJIONG 레이저 평면 간섭계의 응용

이BOJIONG레이저 평면 간섭계에는 표준 평면 거울 모양을 감지하기 위한 FIS4 4파 간섭계 센서가 장착되어 있으며 처리 소프트웨어는 테스트된 구성 요소 표면의 PV 값, RMS 값 및 POWER 값을 출력합니다.

BOJIONG 레이저 평면 간섭계 세부정보

BOJIONG 평면 4파장 동적 간섭계 전체 레이아웃 다이어그램

BOJIONG 레이저 평면 간섭계의 기능 모듈은 조명 광원 모듈, 보조 빔 확장 모듈, 캐리어 모듈, 샘플 자세 조정을 지원하는 스폿 포커싱 모듈, 샘플 표면 형태 감지를 위한 간섭계 센서 모듈로 나눌 수 있습니다. .

시스템의 광원 모듈은 중심 파장이 632.8nm인 가스 헬륨 네온 레이저를 채택합니다.

보조 빔 확장 모듈은 빔 크기를 100mm로 확장하여 대구경 감지 요구 사항을 충족합니다.

스테이지 섹션은 평면 결정, 단투 웨이퍼, 윈도우 칩, 평면 반사경 등과 같은 테스트할 평면 광학 구성 요소를 배치하는 데 사용됩니다. 로딩 스테이지에는 X 및 Y 방향 이동 핸드휠이 장착되어 샘플의 이동을 제어합니다. 장비의 방출된 광점이 테스트 샘플의 표면을 완전히 덮도록 합니다. 동시에 샘플 기울기 자세를 조정하기 위해 두 개의 손잡이도 스테이지에 설치됩니다. 이 손잡이를 조정하면 테스트 평면이 광축에 수직이 됩니다.

이미징 시스템에는 듀얼 카메라 시스템이 있습니다. 그 중 하나는 광학 이미징 카메라를 사용하여 샘플 자세 조정을 지원하기 위한 스폿 포커싱 모듈을 구성합니다. 샘플의 복귀 지점 위치를 실시간으로 관찰하여 샘플 자세를 조정하여 측정 정확도를 보장합니다. 다른 경로에는 FIS4 4파장 간섭계 센서가 장착되어 샘플 표면 형태 감지를 위한 간섭계 센서 모듈을 구성합니다. 공통 경로 간섭 무늬를 기록함으로써 테스트 샘플 표면의 3차원 정보에 대한 실시간 피드백을 얻을 수 있습니다. 듀얼 카메라 시스템은 동시에 작동할 수 있습니다.

전문 소프트웨어 모듈

◆"레이저 평면 간섭계" 소프트웨어를 탑재하여 측정된 광학 요소 평면의 실시간 3D 이미지를 표시 및 출력하고 측정된 표면의 PV 값, RMS 값 및 POWER 값을 출력할 수 있습니다.

◆동시에 소프트웨어는 측정 결과의 원시 데이터 내보내기를 지원하고, 다양한 연구에 대한 정량적 검출 데이터 지원을 제공하며, 사용자가 향후 데이터 분석 및 연구를 수행할 수 있도록 지원합니다.