산업, 과학 연구, 국방 분야에서 편리한 간섭계 측정을 위해 특별히 개발되었습니다. 300×300(90,000) 위상점의 고해상도, 400-1100nm 폭 스펙트럼 응답, 10프레임의 전체 해상도 실시간 3D 결과 디스플레이, 레이저 빔 파면 검출을 위한 이상적인 파면 감지 측정 도구 제공, 적응형 광학, 광학 시스템 교정, 광학창 검출, 광학 평면 표면 형상, 구면 형상 측정, 표면 거칠기, 표면 미세 윤곽 검출 등
FIS4 HR 고해상도 4파장 간섭계 센서특허 받은 무작위 코딩 4파장 회절 기술을 사용하여 단일 채널 측정 파면 자기 간섭을 달성하고 후면 이미지 평면 위치에서 간섭이 발생합니다. 광원의 일관성에 대한 요구 사항이 낮고 위상 변이가 필요하지 않으며 일반 이미징 시스템을 사용하여 간섭 측정을 수행할 수 있습니다. 초고진동성과 초고안정성을 갖추고 있으며, 제진 없이 nm급 정밀 측정이 가능합니다. 마이크로렌즈 어레이 Hartmann 센서와 비교하여 더 많은 고해상도 위상점, 더 넓은 적응 대역 범위, 더 큰 동적 범위 및 더 나은 비용 성능을 제공합니다.
주요 기능
◆ 300×300(90,000) 위상점의 고해상도
◆ 단일 경로 광 자기 간섭, 참조 거울 필요 없음
◆ 넓은 스펙트럼 400nm~1100nm 대역
◆ 2nm RMS 높은 위상 분해능
◆ 매우 강한 내진동성, 광학적 진동 차단이 필요 없음
◆ 간단하고 빠른 간섭광 경로 구축
◆ 시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원
제품 응용
레이저 빔 파면 검출, 적응 광학, 평면 표면 측정, 광학 시스템 교정, 광학 창 검출, 광학 평면, 구면 측정, 표면 거칠기 검출.
