고해상도 4파장 간섭계 센서는 산업 응용 분야, 과학 연구 및 국방 부문에 맞게 특별히 맞춤화된 매우 효율적인 간섭계 측정 도구입니다.
뛰어난 성능을 갖춘 이 센서는 300×300(90,000) 위상점의 고해상도와 400~1100nm의 넓은 스펙트럼 응답 범위를 제공하여 다양한 광학 측정 시나리오에서 정밀도와 신뢰성을 보장합니다.
고유한 기술적 특징에는 특허 받은 무작위 코딩 4파장 회절 기술을 사용하는 것이 포함됩니다. 이를 통해 센서는 복잡한 위상 변이 없이 측정된 단일 파면에서 자체 간섭을 달성하고 후면 이미지 평면 위치에서 간섭을 생성할 수 있습니다. 기법.
또한 BOJIONG의 센서는 실시간으로 초당 10프레임의 전체 해상도로 3D 결과를 표시할 수 있어 레이저 빔 파면 감지, 적응형 광학 시스템, 광학 시스템 교정, 광학 창 검사는 물론 광학 평면 및 광학 창 검사에 적합합니다. 표면 거칠기 및 미세 프로파일 감지를 포함한 구형 모양.
간편한 작동, 매우 높은 진동 저항 및 안정성을 갖춘 BOJIONG의 이 센서는 이상적인 파면 감지 측정 솔루션을 제공하여 진동 절연 없이 나노미터 수준의 정밀 측정을 달성하고 측정 효율성과 정확성을 크게 향상시킵니다.
파장 범위 |
400nm~1100nm |
대상 크기 |
7.07mm×7.07mm |
공간 해상도 |
23.6μm |
이미지 픽셀 |
2048×2048 |
위상 출력 분해능 |
300×300(90000픽셀) |
위상 분해능 |
<2nmRMS |
절대적인 정확성 |
10nmRMS |
다이내믹 레인지 |
110μm(150lm) |
샘플링 속도 |
24fps |
실시간 처리 속도 |
10Hz(전체 해상도에서) |
인터페이스 유형 |
촙 |
치수 |
56.5mm×43mm×41.5mm |
무게 |
약 120g |
◆간단하고 빠른 간섭광 경로 구축 실현
◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원
◆고해상도 300×300(90000) 위상점
◆단일 채널 광 자기 간섭, 참조 거울 필요 없음
◆광대역 400nm~1100nm 대역
◆2nm RMS 고위상 분해능
◆매우 높은 내진동성, 광학적 진동 차단이 필요 없음
레이저 빔 파면 감지, 적응형 광학, 표면 형상 측정, 광학 시스템 교정, 광학 창 감지, 광학 평면, 구면 형상 측정, 표면 거칠기 감지에 사용되는 이 BOJIONG고해상도 4파장 간섭계 센서
레이저 빔 파면 검출 |
광학적인 평면 표면 형상 측정 |
광학 구면 형상 측정 |
광학 시스템의 수차 측정 |
광학 창 조각 감지 |
재료 내부의 격자 분포 측정 |
적응형 광학 - Zernike 모드의 파면 검출 응답 |
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BOJIONG 고해상도 4파장 간섭계 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성하며 탁월한 감지 감도와 방진 성능을 갖추고 있으며 진동 절연 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다.
동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.
FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수 |
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제품 |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 시계 |
FIS4-HS |
FIS4-셀 |
FIS4-NIR |
파장 범위 |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200nm |
대상 크기 mm² |
13.3×13.3 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
10.24×10.24 |
7.07×7.07 |
13.3×13.3 |
공간 해상도 |
26μm |
23.6μm |
26μm |
24.4μm |
23.6μm |
26μm |
이미지 픽셀 |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
위상 출력 분해능 |
512×512 (262144픽셀) |
300×300(90000픽셀) |
512×512(262144픽셀) |
420×420(176400픽셀) |
300×300(90000픽셀) |
512×512(262144픽셀) |
위상 분해능 |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
<2nmRMS |
절대적인 정확성 |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
다이내믹 레인지 |
90μm (256분) |
110μm (150분) |
162μm (256분) |
132μm (210분) |
110μm (150분) |
270μm (256분) |
샘플링 속도 |
32fps |
24fps |
45fps |
107fps |
24fps |
45fps |
실시간 처리 속도 |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원 |
10Hz (전체 해상도) |
10Hz (전체 해상도) |
인터페이스 유형 |
USB3.0 |
촙 |
USB3.0 |
촙 |
촙 |
USB3.0 |
외부 인터페이스 |
- |
- |
- |
- |
C 포트 |
- |
크기 mm² |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
56.5x43x41.5 |
56.5x43x41.5 |
70x46.5x68.5 |
무게 |
약240g |
약120g |
약240g |
약120g |
약120g |
약240g |
주소
중국 상하이 양푸구 잉커우로 578호