HR 고해상도 파면 센서

BOJIONG HR 고해상도 파면 센서는 특허 받은 무작위 코드 4파장 회절 기술을 사용하여 측정된 단일 파면 앞에서 자기 간섭을 가능하게 하고 후면 이미지 평면 위치에서 간섭이 발생합니다. 이 센서는 광원의 일관성을 최소화하고 위상 변이가 필요하지 않은 표준 이미징 시스템을 사용하여 간섭 측정을 수행할 수 있습니다. 탁월한 진동 저항성과 안정성을 보여 진동 절연 없이도 나노미터 수준의 정밀 측정이 가능합니다. 마이크로렌즈 배열 Hartman 센서와 비교하여 BOJIONG HR 고해상도 파면 센서는 더 높은 위상점 해상도, 더 넓은 적응 대역폭, 더 큰 동적 범위 및 더 유리한 비용 대비 성능 비율을 제공합니다.

고해상도 4파장 간섭계 센서 사양

BOJIONG고해상도 4파장 간섭계 센서의 특징

◆간단하고 빠른 간섭광 경로 구축 실현

◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원

◆300×300(90000) 위상점의 고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 참조 거울 필요 없음

◆광대역 400nm~1100nm 대역

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆매우 높은 내진동성, 광학적 진동 차단이 필요 없음

 고해상도 4파장 간섭계 센서 적용

레이저 빔 파면 감지, 적응형 광학, 표면 형상 측정, 광학 시스템 교정, 광학 창 감지, 광학 평면, 구면 형상 측정, 표면 거칠기 감지에 사용되는 이 BOJIONG고해상도 4파장 간섭계 센서

고해상도 4파장 간섭계 센서 세부정보

Zhejiang University와 Nanyang Technological University of Singapore의 교수들이 협력하여 개발한 BOJIONG HR 고해상도 파면 센서는 국내 특허 기술을 활용하여 회절과 간섭을 결합하여 표준 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성합니다. 이 센서는 감지 감도와 진동 방지 기능이 뛰어나 진동 차단 없이 실시간 고속 동적 간섭계를 구현하며 실시간 측정을 위한 프레임 속도는 10프레임을 초과합니다.

이 시스템 내의 FIS4 센서는 512×512의 초고위상 분해능(260,000개 위상 포인트)을 자랑합니다. 측정 범위는 200nm~15μm, 감도는 2nm, 반복성은 1/1000λ(RMS) 이상입니다. 이 고급 센서는 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 실시간 고속 흐름장 분포 측정, 광학 시스템 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징과 같은 응용 분야에 다용도로 사용됩니다.