자외선 4파장 간섭계 센서

BOJIONG Optoelectronics는 항상 파면 간섭 검출 기술에 전념해 왔으며 이제 차세대 자외선 4파장 간섭계 센서를 출시하여 대학 및 연구 기관에 탁월한 솔루션을 제공합니다. 당사의 제품과 서비스는 광학 제조, 항공우주, 생물의학, 에너지 연구 분야에서 널리 사용되며, 고객이 광학 성능을 정밀하게 측정하고 분석하여 제품 품질과 생산 효율성을 개선할 수 있도록 돕습니다. 최근 몇 년 동안 우리는 지속적으로 생산 규모를 확장하고 기술 역량을 강화하며 포괄적인 기업 운영 메커니즘을 구축했습니다. BOJIONG은 국내외 시장의 고객을 진심으로 초대하여 함께 빛을 발하기 위해 협력합니다.

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제품 설명

자외선 4파장 간섭계 센서는 당사의 독점 기술인 무작위 코딩 4파 회절을 통합하여 광원의 일관성에 대한 최소한의 요구 사항으로 후면 초점면에서 간섭을 가능하게 하므로 위상 변이가 필요하지 않습니다. 자외선 이미징 시스템을 통해 센서는 실시간 파면 측정이 가능해 뛰어난 내진동성과 안정성을 보이며, 제진 장치를 사용하지 않고도 나노미터 수준의 정밀한 측정이 가능하다. BOJIONG Optoelectronics는 광학 성능 측정 및 분석의 표준을 재정의하여 업계를 정밀도와 효율성의 새로운 시대로 이끌 준비가 되어 있습니다.

품목 사양

상품명	자외선 4파장 간섭계 센서
파장 범위	200nm~450nm
대상 크기	13.3mm×13.3mm
공간 해상도	26μm
샘플링 해상도	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS
다이내믹 레인지	90μm(256분)
샘플링 속도	32fps
실시간 처리 속도	10Hz(전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0
치수	70mm×46.5mm×68.5mm
무게	약 240g

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서의 특징

◆자외선 스펙트럼 200nm~450nm 대역

◆512×512(262144) 위상점의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준된 빔과 높은 NA의 비시준된 빔을 지원합니다.

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서 적용

이 BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서는 광학 시스템 수차 측정, 광학 시스템 교정, 평면(웨이퍼) 표면 형상 측정, 광학 구면 형상 측정 등에 사용됩니다.

레이저 빔 파면 검출

적응광학 Zernike 모드의 파면 검출 응답

광학계의 수차 측정 예

광학계 교정 측정 예

웨이퍼 표면 거칠기 측정 예

마이크로 에칭 모폴로지 측정 - 결함 샘플 1 # -114라인

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서 세부정보

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성하며 탁월한 감지 감도와 안티 기능을 제공합니다. -진동 성능이 뛰어나며 진동 격리 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.

FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수

제품	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 시계	FIS4-HS	FIS4-셀	FIS4-NIR
파장 범위	200~450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900~1200nm
대상 크기 mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
공간 해상도	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
이미지 픽셀	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
위상 출력 분해능	512×512 (262144픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)	420×420(176400픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
다이내믹 레인지	90μm (256분)	110μm (150분)	162μm (256분)	132μm (210분)	110μm (150분)	270μm (256분)
샘플링 속도	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
실시간 처리 속도	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0	촙	USB3.0	촙	촙	USB3.0
외부 인터페이스	-	-	-	-	C 포트	-
크기 mm²	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5
무게	약240g	약120g	약240g	약120g	약120g	약240g

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