자외선 파면 센서

200나노미터 ~ 450나노미터 파장 범위에서 평면 웨이퍼 표면 형태의 파면 검출을 위해 BOJIONG은 자외선 파면 센서를 출시했습니다. 단일 경로 자기 간섭 기술을 활용하여 참조 빔이 필요하지 않습니다. 당사의 제품과 서비스는 광학 제조, 항공우주, 생물의학, 에너지 연구 등의 분야에서 광범위하게 사용됩니다. 우리는 지속적으로 생산 능력을 확장하고 기술 역량을 강화하며 강력한 기업 운영 체제를 구축해 왔습니다.

문의 보내기

제품 설명

2NM RMS의 높은 위상 분해능과 매우 강력한 진동 저항을 특징으로 하는 자외선 파면 센서. 또한 512×512 픽셀(262,144 위상점)의 해상도를 가지며 후면 초점면에서 간섭 측정을 수행할 수 있습니다. 이 기술을 사용하려면 광원의 일관성이 낮아야 하며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 자외선 이미징 시스템을 갖춘 이 장치는 실시간 파면 측정이 가능합니다.

품목 사양:

상품명	자외선 파면 센서
파장 범위	200nm~450nm
대상 크기	13.3mm×13.3mm
공간 해상도	26μm
샘플링 해상도	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS
다이내믹 레인지	90μm(256분)
샘플링 속도	32fps
실시간 처리 속도	10Hz(전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0
치수	70mm×46.5mm×68.5mm
무게	약 240g

BOJIONG 자외선 파면 센서의 특징

◆자외선 스펙트럼 200nm~450nm 대역

◆512×512(262144) 위상점의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준된 빔과 높은 NA의 비시준된 빔을 지원합니다.

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

BOJIONG 자외선 파면 센서의 응용

이 BOJIONG 자외선 파면 센서는 광학 시스템 수차 측정, 광학 시스템 교정, 평면(웨이퍼) 표면 형상 측정, 광학 구면 형상 측정 등에 사용됩니다.

레이저 빔 파면 검출

적응광학 Zernike 모드의 파면 검출 응답

광학계의 수차 측정 예

광학계 교정 측정 예

웨이퍼 표면 거칠기 측정 예

마이크로 에칭 모폴로지 측정 - 결함 샘플 1 # -114라인

BOJIONG 자외선 파면 센서 세부정보

BOJIONG 자외선 파면 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 이 센서로 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡전단 간섭을 달성하고 뛰어난 감지 감도와 진동 방지 성능을 제공합니다. , 진동 절연 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.

FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수

제품	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 시계	FIS4-HS	FIS4-셀	FIS4-NIR
파장 범위	200~450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900~1200nm
대상 크기 mm2	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
공간 해상도	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
이미지 픽셀	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
위상 출력 분해능	512×512 (262144픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)	420×420(176400픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
다이내믹 레인지	90μm (256분)	110μm (150분)	162μm (256분)	132μm (210분)	110μm (150분)	270μm (256분)
샘플링 속도	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
실시간 처리 속도	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0	촙	USB3.0	촙	촙	USB3.0
외부 인터페이스	-	-	-	-	C 포트	-
크기 mm2	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5
무게	약240g	약120g	약240g	약120g	약120g	약240g

핫 태그: 자외선 파면 센서, 중국, 제조업체, 공급 업체, 품질, 공장, 가격, 고급, 최신