자외선 파면 센서

2NM RMS의 높은 위상 분해능과 매우 강력한 진동 저항을 특징으로 하는 자외선 파면 센서. 또한 512×512 픽셀(262,144 위상점)의 해상도를 가지며 후면 초점면에서 간섭 측정을 수행할 수 있습니다. 이 기술을 사용하려면 광원의 일관성이 낮아야 하며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 자외선 이미징 시스템을 갖춘 이 장치는 실시간 파면 측정이 가능합니다.

품목 사양:

BOJIONG 자외선 파면 센서의 특징

◆자외선 스펙트럼 200nm~450nm 대역

◆512×512(262144) 위상점의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준된 빔과 높은 NA의 비시준된 빔을 지원합니다.

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

 BOJIONG 자외선 파면 센서의 응용

이 BOJIONG 자외선 파면 센서는 광학 시스템 수차 측정, 광학 시스템 교정, 평면(웨이퍼) 표면 형상 측정, 광학 구면 형상 측정 등에 사용됩니다.

BOJIONG 자외선 파면 센서 세부정보

BOJIONG 자외선 파면 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 이 센서로 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡전단 간섭을 달성하고 뛰어난 감지 감도와 진동 방지 성능을 제공합니다. , 진동 절연 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.