비행 사격 및 유동장과 같은 고속 산업, 국방 및 과학 연구 시나리오의 파면 분석을 위해 특별히 개발된 이 제품은 420×420(176400) 위상점의 초고해상도, 400-1100nm의 넓은 스펙트럼 응답, 107 프레임의 고속 샘플링으로 웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반 및 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학적 광학을 위한 이상적인 파면 감지 측정 도구를 제공합니다. 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정 등
FIS4-HS 초고속4파 간섭 센서특허받은 랜덤 코드 4파장 회절 기술과 고속 카메라를 결합하고 후면 이미지 평면 위치에서 간섭합니다. 광원 일관성에 대한 요구 사항이 낮으며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 일반 이미징 시스템은 간섭 측정을 달성할 수 있습니다. 초고진동성, 초고안정성, 초고속 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 진동 차단 없이 nm 수준의 정밀 측정이 가능합니다.
주요 기능
◆ 420×420(176400) 위상점의 초고해상도
◆ 샘플링 프레임 속도 최대 107fps
◆ 단일 경로 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음
◆ 넓은 스펙트럼 400nm~1100nm 대역
◆ 2nm RMS 높은 위상 분해능
◆ 매우 강한 내진동성, 광학적 진동 차단이 필요 없음
◆ 이미징과 같이 간단하고 빠른 광로 구성
◆ 시준빔, 대형 NA 수렴빔 지원
제품 적용
웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반, 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학적 광학, 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정.
