초고속 4파장 간섭계 센서

수년 동안 우리는 파면 간섭 탐지에 전념해 왔습니다. BOJIONG Optoelectronics는 대학 및 연구 기관에 차세대 초고속 4파장 간섭계 센서를 제공합니다. 당사의 제품과 서비스는 광학 제조, 항공우주, 생물의학, 에너지 연구 분야에 널리 적용되어 고객이 광학 성능을 정밀하게 측정하고 분석하여 제품 품질과 생산 효율성을 향상할 수 있도록 지원합니다. 최근 몇 년 동안 우리는 지속적으로 생산 능력을 확장하고 기술 역량을 강화하며 건전한 기업 운영 메커니즘을 구축했습니다. 우리는 함께 광채를 창조하기 위해 국내외 고객의 진심 어린 협력을 환영합니다.

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제품 설명

초당 최대 107프레임의 실시간 파면 분석 속도를 갖춘 BOJIONG 초고속 4파장 간섭계 센서는 기존 간섭계 측정 기술의 성능을 훨씬 능가하므로 동적 환경에서 빠른 측정에 적합합니다.

스펙트럼 응답 범위는 400~1100나노미터에 달하므로 다양한 광원 조건에 적응할 수 있고 다양한 응용 시나리오에서의 적용 가능성이 향상됩니다. 이제 고속 산업 검사, 국방 기술 연구, 정밀 과학 연구 분야에서 없어서는 안 될 도구가 되었습니다.

품목 사양:

상품명	초고속 4파장 간섭계 센서
파장 범위	400nm~1100nm
대상 크기	10.24mm×10.24mm
공간 해상도	24.4μm
샘플링 해상도	420×420(176400픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS
다이내믹 레인지	132μm(210λ)
샘플링 속도	107fps
실시간 처리 속도	10Hz(전체 해상도)
인터페이스 유형	지연된 일괄 처리 지원
치수	촙
무게	56.5mm×43mm×41.5mm
파장 범위	약 120g

BOJIONG 초고속 4파장 간섭계 센서의 특징:

◆420×420(176400) 위상점의 초고해상도

◆샘플링 프레임 속도 최대 107fps

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆광대역 400nm~1100nm 대역

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원

BOJIONG 초고속 4파장 간섭계 센서의 응용:

이 BOJIONG 초고속 4파장 간섭계 센서는 웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반 및 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학 광학, 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정에 사용됩니다.

레이저 빔 파면 검출

광학적인 평면 표면 형상 측정

웨이퍼 표면 거칠기 측정 예

재구성된 파면 그래프 측정 예

가스 플라즈마 밀도 측정 광로

고해상도 4파장 간섭계 센서 세부정보

BOJIONG 고해상도 4파장 간섭계 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성하며 탁월한 감지 감도와 방진 성능을 갖추고 있으며 진동 절연 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다.

동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.

FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수

제품	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 시계	FIS4-HS	FIS4-셀	FIS4-NIR
파장 범위	200~450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900~1200nm
대상 크기 mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
공간 해상도	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
이미지 픽셀	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
위상 출력 분해능	512×512 (262144픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)	420×420(176400픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
다이내믹 레인지	90μm (256분)	110μm (150분)	162μm (256분)	132μm (210분)	110μm (150분)	270μm (256분)
샘플링 속도	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
실시간 처리 속도	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0	촙	USB3.0	촙	촙	USB3.0
외부 인터페이스	-	-	-	-	C 포트	-
크기 mm²	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5
무게	약240g	약120g	약240g	약120g	약120g	약240g

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