초고속 파면 센서

보지옹은 광학 검출 기술 분야의 선구자로서 다년간 파면 센서 분야에 깊이 관여해 왔으며 고객의 요구에 부응하기 위해 초고속 파면 센서를 출시했습니다. 심오한 전문 지식과 기술에 대한 깊은 이해를 바탕으로 당사는 광학 제조, 항공우주, 생물의학 연구, 에너지 연구 등 핵심 분야에 첨단 파면 간섭 측정 솔루션을 제공합니다.

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제품 설명

유동장 및 풍동 테스트 중에는 초고속 감지 장비가 필요합니다. 보지옹은 초고속 파면 센서를 출시했습니다. 이 장치는 초고진동 저항, 초고안정성, 초고속 이미징 기능을 갖추고 있어 진동 격리 없이 나노 수준의 정밀 측정이 가능합니다. 광원의 일관성에 대한 요구 사항이 낮으며 위상 변이가 필요하지 않습니다. 간섭계 측정은 일반 이미징 시스템을 사용하여 수행할 수 있습니다.

품목 사양:

상품명	초고속 파면 센서
파장 범위	400nm~1100nm
대상 크기	10.24mm×10.24mm
공간 해상도	24.4μm
샘플링 해상도	420×420(176400픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS
다이내믹 레인지	132μm(210λ)
샘플링 속도	107fps
실시간 처리 속도	10Hz(전체 해상도)
인터페이스 유형	지연된 일괄 처리 지원
치수	촙
무게	56.5mm×43mm×41.5mm
파장 범위	약 120g

BOJIONG 초고속 파면 센서의 특징

◆420×420(176400) 위상점의 초고해상도

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆샘플링 프레임 속도 최대 107fps

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆광대역 400nm~1100nm 대역

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원

BOJIONG 초고속 파면 센서 적용

이 BOJIONG 초고속 파면 센서는 웨이퍼 표면 거칠기 감지, 실리콘 기반 및 유리 기판 미세 형태 측정, 공기 역학 광학, 고속 유동장, 가스 플라즈마 밀도 측정에 사용됩니다.

레이저 빔 파면 검출

광학적인 평면 표면 형상 측정

웨이퍼 표면 거칠기 측정 예

재구성된 파면 그래프 측정 예

가스 플라즈마 밀도 측정 광로

BOJIONG 초고속 파면 센서 세부정보

BOJIONG 초고속 파면 센서는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 국내 특허 기술로 개발한 회절과 간섭을 결합하여 공통 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성하고 우수한 감지 감도와 안티 성능을 제공합니다. -진동 성능이 뛰어나며 진동 격리 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 실현할 수 있습니다. 실시간 측정에서는 10프레임 이상의 프레임 속도를 보여줍니다. 동시에 FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능을 가지며, 측정 대역은 200nm~15μm, 측정 감도는 2nm에 도달하고 측정 반복성은 1/1000λ보다 우수합니다( RMS). 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 사용할 수 있습니다.

FIS4 각 제품 시리즈의 기술 매개변수

제품	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 시계	FIS4-HS	FIS4-셀	FIS4-NIR
파장 범위	200~450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900~1200nm
대상 크기 mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
공간 해상도	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
이미지 픽셀	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
위상 출력 분해능	512×512 (262144픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)	420×420(176400픽셀)	300×300(90000픽셀)	512×512(262144픽셀)
위상 분해능	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS	<2nmRMS
절대적인 정확성	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
다이내믹 레인지	90μm (256분)	110μm (150분)	162μm (256분)	132μm (210분)	110μm (150분)	270μm (256분)
샘플링 속도	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
실시간 처리 속도	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도) 지연된 일괄 처리 지원	10Hz (전체 해상도)	10Hz (전체 해상도)
인터페이스 유형	USB3.0	촙	USB3.0	촙	촙	USB3.0
외부 인터페이스	-	-	-	-	C 포트	-
크기 mm²	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5	56.5x43x41.5	56.5x43x41.5	70x46.5x68.5
무게	약240g	약120g	약240g	약120g	약120g	약240g

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