UHR 초고해상도 파면 센서

BOJIONG UHR 초고해상도 파면 센서는 특허받은 랜덤 코딩 4파 회절 기술을 활용하여 후면 이미지 평면 위치에서 단일 채널 파면 자기 간섭을 촉진합니다. 이 센서는 광원으로부터 최소한의 일관성을 요구하고 위상 변이가 필요하지 않으므로 표준 이미징 시스템이 간섭 측정을 수행할 수 있습니다. 이 제품은 매우 높은 진동 저항성과 안정성을 특징으로 하며 진동 절연 플랫폼 없이도 나노미터 수준의 정밀 측정을 달성합니다. 마이크로렌즈 어레이 Hartmann 센서와 비교할 때 BOJIONG UHR 초고해상도 파면 센서는 더 많은 위상점, 더 넓은 적응 대역폭, 더 넓은 동적 범위 및 더 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.

초고해상도 4파 간섭계 센서 사양:

초고해상도 4파장 간섭계 센서의 특징:

◆광대역 400nm~1100nm 대역

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆512×512(262144) 위상 포인트의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆매우 높은 내진동성, 광학적 진동 차단이 필요 없음

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준빔과 대형 NA 수렴빔 지원

초고해상도 4파장 간섭계 센서 적용:

이BOJIONG 초고해상도 4파장 간섭계 센서는 레이저 빔 파면 감지, 적응형 광학, 표면 형상 측정, 광학 시스템 교정, 광학 창 감지, 광학 평면, 구면 형상 측정, 표면 거칠기 감지에 사용됩니다.

고해상도 4파장 간섭계 센서 세부정보

저장 대학교와 싱가포르 난양 기술 대학교 교수팀이 개발한 BOJIONG UHR 초고해상도 파면 센서는 국내 특허 기술을 활용하여 회절과 간섭을 결합하여 4파장 횡방향 전단 간섭을 달성합니다. 이 센서는 뛰어난 감지 감도와 진동 저항으로 알려져 있어 진동 격리 없이 실시간 고속 동적 간섭계를 가능하게 하며 실시간 측정 프레임 속도에서 초당 10프레임을 초과합니다.

이 시스템의 일부인 FIS4 센서는 200nm~15μm의 측정 범위에 걸쳐 있으며 512×512의 초고위상 분해능(260,000개 위상점에 해당)을 자랑합니다. 1/1000λ(RMS)보다 우수한 측정 반복성을 제공하고 감도는 2nm입니다. 이 센서는 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 실시간 고속 흐름장 분포 측정, 광학 시스템 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징과 같은 응용 분야에 매우 적합합니다.