초당 최대 15프레임의 속도로 실시간 동적 측정이 가능한 수직 4파장 동적 간섭계 LPI-100은 4파장 공통 경로 전단을 통해 100mm 조리개 내 평면 광학 요소의 표면 형상 정보를 정확하게 얻습니다. 기술 및 간섭 패턴 복조. 간섭계는 사용자 친화적이고 배포가 빠르며 작동이 안정적이고 측정이 매우 정확합니다. 이는 광학 처리 회사, 학술 기관, 계측 부서, 과학 기관의 연구원 및 과학 논문을 작성하는 전문가에게 신뢰할 수 있는 데이터 지원을 제공하여 업무에 귀중한 도구가 됩니다.
상품명 |
수직 4파장 동적 간섭계 |
검사 직경(mm) |
100*100 |
CCD 픽셀 |
2048*2048 |
샘플링 포인트 |
512*512 |
파장(nm) |
632.8 |
동적 범위(μm) |
100 |
측정 정확도 PV 값 |
±15nm |
정밀 RMS 값(λ) |
1/30분 이하 |
RMS 측정 반복성(λ) |
1/1000리터 이하 |
측정 분해능(nm) |
2 |
실시간 디스플레이 프레임 속도(Hz) |
10 |
센서 무작위 배치 |
이미지 처리 서버 |
처리 소프트웨어 탑재 |
"Four Wave Front 전단 웨이브 전면 재구성 소프트웨어" 실시간으로 출력 파면을 표시할 수 있습니다. PV 값, RMS 값, POWER 값 |
기계 중량(KG) |
50 |
◆실시간 동적 측정 최대 15프레임
◆2nm RMS 높은 위상 분해능
◆262144 위상점의 초고해상도
◆공통 채널 자기 간섭의 원리에 기초하여 장비는 참조 거울이 필요하지 않으며 강력한 저항 간섭 기능을 가지고 있어 일반 공장 환경에서도 평평한 표면을 정확하게 감지할 수 있습니다.
◆실시간 동적 감지를 실현할 수 있으며 초당 15프레임 동적 감지를 달성할 수 있습니다.
◆독립적인 지적 재산권, 비용 효율적, 간단한 조정, 컴팩트한 구조
FIS4 4파장 간섭계 센서가 장착된 BOJIONG 수직 4파장 동적 간섭계는 표준 평면 거울의 모양을 정확하게 감지할 수 있습니다. 함께 제공되는 소프트웨어 처리 시스템은 테스트된 구성 요소 표면의 PV, RMS 및 POWER 값을 출력합니다.
표준 평면 경면 검사 결과 |
광학소자 간섭파면
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사파이어 부품의 투과 파면 검출 |
BOJIONG 수직 4파장 동적 간섭계는 조명 광원 모듈, 보조 빔 확장 모듈, 캐리어 모듈, 샘플 정렬을 위한 스폿 포커싱 모듈, 표면 감지를 위한 간섭계 센서 모듈을 포함한 여러 핵심 기능 모듈로 구성됩니다. 샘플의 모양.
시스템의 광원 모듈은 중심 파장이 632.8nm인 헬륨-네온 가스 레이저를 활용하여 간섭계에 정확하고 안정적인 광원을 제공합니다.
보조 빔 확장 모듈은 빔 직경을 100mm까지 늘리도록 설계되어 검사가 필요한 대구경 광학 부품과의 호환성을 보장합니다.
스테이지 섹션은 평면 결정, 단투 웨이퍼, 윈도우 칩 및 평면 반사경과 같은 테스트 중인 다양한 평면 광학 구성 요소를 배치하기 위한 플랫폼 역할을 합니다. 스테이지에는 샘플 위치를 정밀하게 제어하기 위한 X 및 Y축 핸드휠이 장착되어 있어 장비에서 방출되는 광점이 테스트 샘플 표면을 완전히 덮도록 합니다. 또한 두 개의 조정 손잡이가 스테이지에 통합되어 샘플의 기울기를 미세 조정하고 테스트 평면을 광축에 수직으로 정렬합니다.
이미징 시스템에는 듀얼 카메라 설정이 특징입니다. 한 대의 카메라는 스폿 포커싱 모듈을 구성하는 광학 이미징 카메라로, 샘플 정렬을 지원합니다. 샘플 반환 지점의 실시간 위치를 관찰함으로써 샘플을 조정하여 측정의 정확성을 보장할 수 있습니다. 다른 카메라 경로에는 시료의 표면 형상을 감지하는 간섭계 센서 모듈을 구성하는 FIS4 4파장 간섭계 센서가 장착되어 있습니다. 공통 경로 간섭 무늬를 캡처하여 테스트 샘플의 표면 지형에 대한 실시간 3차원 피드백을 제공합니다. 듀얼 카메라 시스템은 동시에 작동할 수 있어 측정 프로세스의 효율성과 정확성을 향상시킵니다.
◆이 장치에는 측정된 광학 요소 표면의 실시간 3D 이미지를 표시 및 출력할 수 있을 뿐만 아니라 PV, RMS 및 POWER 값을 제공할 수 있는 "수직 4파장 동적 간섭계"용으로 설계된 특수 소프트웨어가 탑재되어 있습니다. 측정된 표면.
◆또한 이 소프트웨어에는 원시 측정 데이터를 내보내는 기능이 있어 다양한 연구 활동에 중요한 정량적 분석 지원을 제공하고 사용자가 후속 데이터 분석 및 연구 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다.
주소
중국 상하이 양푸구 잉커우로 578호