UV 파면 센서 200-450 nm

BOJIONG UV 파면 센서 200-450 nm는 특허받은 랜덤 코딩 4파 회절 기술과 자외선 카메라를 통합하여 후면 이미지 평면에서 간섭을 수행하므로 광원의 낮은 일관성이 필요하고 위상 변이가 필요하지 않습니다. 자외선 이미징 시스템을 활용하는 이 센서는 탁월한 내진동성과 안정성으로 실시간 파면 측정을 가능하게 하며 진동 절연 없이도 나노미터 수준의 정밀도를 달성합니다.

품목 사양

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서의 특징

◆자외선 스펙트럼 200nm~450nm 대역

◆512×512(262144) 위상점의 초고해상도

◆단일 채널 광 자기 간섭, 기준광 필요 없음

◆2nm RMS 고위상 분해능

◆매우 강력한 방진 성능, 광학적 제진 불필요

◆이미징과 마찬가지로 쉽고 빠른 광경로 구축

◆시준된 빔과 높은 NA의 비시준된 빔을 지원합니다.

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서 적용

이 BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서는 광학 시스템 수차 측정, 광학 시스템 교정, 평면(웨이퍼) 표면 형상 측정, 광학 구면 형상 측정 등에 사용됩니다.

BOJIONG 자외선 4파장 간섭계 센서 세부정보

BOJIONG UV 파면 센서 200-450nm는 절강대학교와 싱가포르 난양기술대학교 교수팀이 개발했으며, 회절과 간섭을 결합하여 4파장 횡전단 간섭을 달성하는 국내 특허 기술을 활용합니다. 이 센서는 탁월한 감지 감도와 진동 방지 성능을 자랑하며 초당 10프레임 이상의 프레임 속도로 진동 절연 없이 실시간 및 고속 동적 간섭계를 가능하게 합니다. FIS4 센서는 512×512(260,000개 위상 포인트)의 초고위상 분해능, 200nm~15μm의 측정 범위, 2nm의 측정 감도, 1/1000λ(RMS)보다 우수한 측정 반복성을 제공합니다. 레이저 빔 품질 분석, 플라즈마 흐름장 감지, 고속 흐름장 분포의 실시간 측정, 광학 시스템의 이미지 품질 평가, 미세한 프로파일 측정 및 생물학적 세포의 정량적 위상 이미징에 적용 가능합니다.